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ジシラン(Disilane)

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販売
対象機材
ガス名 ジシラン 分子式
(化学式)		 Si2H6
状態 気体
色 無色
臭気 無臭
燃焼
範囲 vol%		 0.8 から 100 爆発等級 – 発火度 –
ジシランの概要
  • ・ジシラン（Disilane：化学式「Si2H6」）は、ケイ素の原子が2つ結合した構造を持つ、ケイ素の水素化物（シラン）の一種です。常温では気体であり、半導体製造の分野で広く利用されています。
  • ・ジシランは、無色の気体であり、空気に触れると自然発火するという極めて危険な性質を持っています。その高い反応性を利用して、主に半導体産業において、ケイ素膜やシリコン窒化膜などを形成するための原料ガスとして使用されます。特に、単結晶シリコンやアモルファスシリコンの薄膜を低温で形成する化学気相成長（CVD）法に適しています。
  • ・別名：ケイ素化エタン、ヘキサヒドロジケイ素
用途
  • ・半導体製造：半導体チップの製造における化学気相成長（CVD）法の原料ガスとして、シリコン膜、シリコン窒化膜、シリコン酸化膜の形成に用いられます。
危険
情報
  • ・ジシランは、その化学構造から極めて危険な物質に分類されます。特に、その自然発火性（ピロフォリック性）、高い引火性、および毒性に最大限の注意が必要です。SDS（安全データシート）で詳細な情報を確認し、専門家のみが厳重な管理下で取り扱うべき化合物です。
  • ・空気と接触すると、常温で自然発火する極めて危険な性質を持ちます。これは、水素と酸素の燃焼よりも速い速度で起こります。
人体の
影響
  • ・肺や気道に刺激を引き起こす可能性があります。高濃度のガスを吸入すると、酸欠による窒息の危険性も考えられます。
  • ・目に入ると、激しい刺激、痛み、充血、涙を引き起こし、重篤な場合は角膜損傷や失明に至る可能性があります。
爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値

爆発
等級		 スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値
1 0.6mmを超えるもの
2 0.4mmを超え、0.6mm以下のもの
3 0.4mm以下のもの
  発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。

発火度 発火温度
G1 450℃を超えるもの。
G2 300℃を超え450℃以下のもの。
G3 200℃を超え300℃以下のもの。
G4 135℃を超え200℃以下のもの。
G5 100℃を超え135℃以下のもの。
G6 85℃を超え100℃以下のもの。

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