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ヘキサクロロジシラン(Hexachlorodisilane)

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販売
対象機材
ガス名 ヘキサクロロジシラン 分子式
(化学式)		 Si2Cl6
状態 液体
色 無色透明
臭気 刺激的な塩素臭
燃焼
範囲 vol%		 – 爆発等級 – 発火度 –
ヘキサクロロジシランの概要
  • ・ヘキサクロロジシラン（Hexachlorodisilane、HCDS）は、化学式「Si2Cl6」を持つ無機化合物です。ケイ素と塩素からなる化合物で、常温では無色透明の液体です。半導体製造プロセスにおいて、ケイ素の薄膜を形成するための重要な原料として広く利用されています。
  • ・別名：ジシランヘキサクロリド
用途
  • ・半導体チップの製造において、LPCVD（低圧化学気相成長法）やAPCVD（常圧化学気相成長法）によるケイ素薄膜やシリコン酸化膜の形成に用いられます。
  • ・その他の有機ケイ素化合物の合成の中間体としても利用されることがあります。
危険
情報
  • ・水分と反応して塩化水素を生成するため、皮膚、目、呼吸器系に対して強い腐食性を示します。
  • ・れは非常に腐食性が高く、取り扱いには厳重な注意が必要です。
人体の
影響
  • ・呼吸器系に炎症や損傷を引き起こす可能性があります。高濃度の蒸気を吸入すると、肺水腫などの重篤な症状を引き起こすこともあります。
  • ・水分と反応して皮膚に付着すると、強い酸性を示すため、火傷や炎症を引き起こすことがあります。
爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値

爆発
等級		 スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値
1 0.6mmを超えるもの
2 0.4mmを超え、0.6mm以下のもの
3 0.4mm以下のもの
  発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。

発火度 発火温度
G1 450℃を超えるもの。
G2 300℃を超え450℃以下のもの。
G3 200℃を超え300℃以下のもの。
G4 135℃を超え200℃以下のもの。
G5 100℃を超え135℃以下のもの。
G6 85℃を超え100℃以下のもの。

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