| ガス名 |
スチビン |
分子式
(化学式) |
SbH3 |
| 状態 |
気体 |
| 色 |
無色 |
| 臭気 |
ニンニク臭や硫化水素臭に似ていると表現される非常に不快な臭気 |
燃焼
範囲 vol% |
5.3 から 82.3 |
爆発等級 |
– |
発火度 |
– |
| スチビンの概要 |
- ・スチビン（Stibine：化学式「SbH3」）は、アンチモンと水素の化合物で、常温常圧では無色の気体。非常に強い毒性を持ち、吸入すると血液（赤血球）や肝臓、腎臓に重大な損傷を与える。また、極めて引火性が高い可燃性ガスである。半導体産業において、シリコンのn型ドーパント（不純物）として使用される。
- ・別名：水素化アンチモン (Antimony Hydride)、水素化三アンチモン (Antimony Trihydride)
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| 用途 |
- ・半導体製造プロセスにおけるシリコンのエピタキシャル成長時のn型ドーパント（不純物）として、高純度のものが使用される。
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危険
情報 |
- ・極めて引火性が高いため、着火源を厳禁とする。
- ・空気と混合すると爆発性混合気を形成し、引火源があると爆発する危険性があります。
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人体の
影響 |
- ・極めて強い毒性を持ち、少量でも生命に危険を及ぼす可能性があります。
- ・吸入により生命に危険を及ぼす。最も重大な影響は、赤血球を破壊する強い溶血作用であり、これによりヘモグロビン尿症、黄疸、腎臓・肝臓の損傷（急性腎不全）を引き起こす。また、頭痛、吐き気、嘔吐、めまい、呼吸困難、不整脈などの症状が出る。急速に気化すると皮膚に触れた際に凍傷を引き起こす。
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