○センサユニットの交換により1台で様々なガスを検知
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の主な機能>
・警報機能
・自動吸引式
・デジタル表示
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の特長>
・カセット式センサユニットでガス検知器の校正が不要！
*
カセット式センサユニットは校正済みでお客様へお届け。簡単に交換ができるので、持ち帰り点検校正や、現場での校正作業が不要です。*センサユニットは6ヶ月交換です。
・センサユニットを交換するだけで、対象ガスの変更が可能！
本体が1台あれば、センサユニットの交換だけで、様々な対象ガスに対応。
ガス種・フルスケール・警報ポイントの設定は自動設定で、面倒な操作は必要ありません。
・メンテナンス時間・コストを大幅削減！
カセット式センサユニットを交換するだけなので、メンテナンス時間が必要ありません。
もちろん校正作業も不要で、ランニングコストを大幅に削減できます。
・乾電池・AC電源での駆動が可能
ACアダプタ（オプション）によりAC電源駆動も可能です。
・小型・軽量コンパクト設計だから両手作業も可能
重量はわずか1.3Kg（従来比50％）。ロングショルダーベルトの使用で両手作業も可能です。
・多彩な液晶表示機能と大きな見やすいデジタルLCD表示
・ガス濃度の変化により、警報音が徐々に連続音になります。
ガス濃度が低い時はゆっくりとした断続音。ガス濃度が高くなると早い断続音から連続音でお知らせします。
・その他の機能
ロガー機能付きでPCでのデータ管理が可能です。
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の用途>
・半導体工場、石油化学工場等、半導体材料ガス
・毒性ガスを使用する場所での漏えい検知。
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】のオプション>
本 体
| 試験機名 |
個数 |
定価 |
自動見積りをご利用ください。 |
| 半導体材料ガス検知器 XPS-7 |
1 |
225，000円 |
 |
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の仕様>
| 型式 | XPS-7 |
|---|
| 対象ガス | 半導体材料ガス |
|---|
| 採取方式 | ポンプ吸引式 |
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| 検知原理 | 定電位電解式 |
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| 検知範囲 | 仕様による |
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| 分解能 | フルスケールの100分の1表示 |
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| 指示精度*1 | FS±10％以内 |
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| 警報モード | 2段階警報方式 |
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| 警報方式 | ブザー（断続音）、アラームランプ点滅 |
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| 応答時間*1 | 60秒以内（60％応答） |
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| 濃度表示方式 | LCDデジタル表示 |
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| 使用温度範囲 | 0から40℃ |
|---|
| 電源 | 単3形アルカリ乾電池*2 4本またはAC専用アダプタ（オプション） |
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| 連続使用時間*2 | 12時間以上（アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合） |
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| 外形寸法 | W62×H150×D128mm（突起部除く） |
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| 重量 | 約1.3Kg（電池除く） |
|---|
| 標準付属品 | ショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 |
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| オプション | AC専用アダプタ（AC100V/DC6V）、センサ専用通信台、ログデータ収集キット |
|---|
*1 同一測定条件によります。
*2 環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の対象ガス一覧表>
| 型式 |
化学式 |
フルスケール |
| XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
| XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
| XDS-7DC |
SiH2Cl2 |
25ppm |
| XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
| XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
| XDS-7BH |
B2H6 |
500ppm |
| XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
| XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
| XDS-7CL |
Cl2 |
5ppm |
| XDS-7CF |
ClF3 |
1ppm |
| XDS-7HC |
HCl |
25ppm |
| XDS-7HF |
HF |
10ppm |
| XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
| XDS-7NO |
NO |
100ppm |
| XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
| XDS-7CO |
CO |
250ppm |
| XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
| XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
| XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
| XDS-7SD |
SO2 |
10ppm |
| XDS-7ND |
NO2 |
10ppm |
表以外のガスについてはお問い合わせください。
